Электронные технологии в машиностроении (МТ-11)
МГТУ им. Н.Э. Баумана
105005, г. Москва, ул. 2-я Бауманская, д. 7
+7 (499) 267-0213
  2. О кафедре
  3. Сотрудники
  4. Панфилов Юрий Васильевич

Панфилов Юрий Васильевич

ЮВ.png
  • Должность: Заведующий кафедрой
  • Контактный телефон: +7 (499) 267-02-13
  • Адрес электронной почты: panfilov@bmstu.ru
  • Ученая степень: доктор технических наук
  • Ученое звание : профессор

Панфилов Юрий Васильевич окончил МВТУ им. Н.Э. Баумана в 1972 году по специальности «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение». Доктор  технических наук, профессор. В 1980 году защитил кандидатскую, а в 1990 году – докторскую диссертацию.

За последние 15 лет опубликовал 11 монографий, 6 учебников и учебных пособий, 50 научных статей, 155 докладов на научно-технических конференциях, а также, 1 патент на изобретение и 2 отчета по НИР. Всего имеет более 350 публикаций, из них 20 изобретений.

Главный редактор научно-технического журнала «Упрочняющие технологии и покрытия», член редакционных советов журналов «Наноинженерия», «Нано и микросистемная техника», «Справочник. Инженерный журнал».

Область научных интересов: электронные, ионные и плазменные технологи, в т.ч. технология тонких пленок, нанотехнология и наноинженерия, вакуумное технологическое оборудование.

Увлекается спортом: постоянно участвует в российских и международных лыжных марафонах, имеет звание World Loppet Master.

Читаемые курсы

Основы автоматизированного проектирования

Цель изучения дисциплины - приобретение теоретических знаний и практических навыков в области автоматизированного проектирования технических объектов, основанного на взаимодействии разработчика и ЭВМ; изучение принципов системного подхода в проектировании, основанного на выявлении структуры объекта, типизации его внутренних и внешних связей; освоение программных средств, обеспечивающих процесс математического и физического моделирования объекта в виртуальной среде.

Основы технологии изделий наноинженерии

Цель изучения  дисциплины - приобретение теоретических знаний и практических навыков в области разработки технологических маршрутов и методов изготовления изделий наноинженерии, овладение методиками расчета технологических режимов и параметров оборудования, обеспечивающих заданные показатели качества наноэлектронных приборов и устройств.

Процессы и оборудование микротехнологии

Цель изучения дисциплины - освоение системы общих принципов, положений и методов построение наукоемких технологических процессов на примере микротехнологии; приобретение базовых знаний о номенклатура, возможностях и перспективах развития процессов и оборудования; овладение методами анализа и управления качеством технологических процессов.

Технология и оборудование микро и наноэлектроники

Цель изучения дисциплины - освоение системы общих принципов, положений и методов построение наукоемких технологических процессов на примере микротехнологии; приобретение базовых знаний о номенклатура, возможностях и перспективах развития процессов и оборудования; овладение методами анализа и управления качеством технологических процессов.