Учебный план
На кафедре ведется подготовка специалистов по уровням бакалавриата, магистратуры и аспирантуры.
Выпускники кафедры подготовлены для профессиональной деятельности по направлениям:
- технологическая электроника: получение вакуума в замкнутых объемах, нанесение тонкопленочных покрытий, размерная микрообработка, ионная имплантация, микролитография и др.;
- прецизионная механика: проектирование автоматизированного элионного технологического оборудования; механизмов и устройств с микронной точностью перемещений;
- управляющая электроника: разработка микропроцессорных систем автоматического управления, компьютерная диагностика;
- информационная электроника: компьютерная поддержка разработок и исследований в электронике, включая автоматизированное проектирование и эксперимент, экранное моделирование процессов микроэлектроники, управляющие программы, базы данных.
Направленность научных исследований и разработок:
- физика процессов в высоком вакууме;
- термовакуумные технологии;
- вакуумное нанесение тонкопленочных покрытий;
- производство печатных плат, в том числе специального назначения;
- проектирование вакуумных механизмов;
- разработка приводов с субмикронной точностью позиционирования.