Вакуумные механизмы и трибология
Вакуумные технологии наноинженерии
Ионные технологии формирования нанокомпозитных покрытий
Микротехнологии
Пневмовихревые процессы и оборудование
Системы микро и нано позиционирования
Термовакуумные процессы и оборудование
Технологическое оборудование и системы автоматического управления
Технология микро- и наноструктур
Технология тонкопленочных островковых наноструктур
