Цветков Юрий Борисович
- Должность: Профессор
- Ученая степень: Доктор технических наук
- Ученое звание : Профессор
Окончил Московское высшее техническое училище (в настоящее время Московский государственный технический университет) им. Н.Э. Баумана со званием «инженер-механик» в 1971 году. С 1971 года работает в (МВТУ) МГТУ им. Н.Э. Баумана в должностях ассистента, доцента, профессора кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана. В 1979 году защитил кандидатскую, а в 2006 году докторскую диссертацию по проблемам повышения точности микролитографии.
Около тридцати лет работал заместителем заведующего кафедрой по учебной работе. На этом посту разработал, испытал и внедрил в жизнь кафедры систему постоянно-действующего инженерного практикума, балльно-рейтинговую систему.
В ноябре 2012 назначен на должность проректора по учебной работе МГТУ им. Н. Э. Баумана.
Ведет занятия по курсу «Процессы и оборудование микротехнологии» по программе бакалавриата и «Процессы создания микроэлектромеханических систем» - по программе магистратуры.
Автор более 130 научных публикаций, в том числе – 19 авторских свидетельств.
Область научных интересов:
- Методы анализа совмещаемости и размерной точности микролитографии.
- Классификация и анализ методов микро- и нанолитографии.
- Выявление и анализ синергетических эффектов в микротехнологиях.
- Анализ и разработка методов повышения эффективности инженерного образования.
Читаемые курсы
Технология микромеханических систем (МЭМС)
- Уровень подготовки: Магистратура
- Направление: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника - Электронное машиностроение